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您当前的地位:蛋蛋产品展现集成电路封装设备 > ESI Circuit Trim™ LT2210 薄膜激光修调系统
  • 产品名称: ESI Circuit Trim™ LT2210 薄膜激光修调系统
  • 制作商: ESI
  • 重要功效: 调阻

Circuit Trim™ LT2210薄膜激光调阻机

采用绿光(532nm)激光器技巧,可选20μm或者30μm光斑尺寸

光斑尺寸的选择可编程

可编程的Z平台,解析度4μm,保证最优的焦点把持

专利的光束校准及视觉系统软件保证精密的激光器定位

最新一代的二极管泵浦激光器技巧保证了最少的掩护,长期的稳固性和高可靠性

测量平台支撑有源和无源修调利用

可追溯的测量认证

电阻领域从5 milli-Ohms 到1 Gig Ohm

VersiTrim 2™软件-图形化用户界面,任务创立和操作简略

闭环X,Y,Z,θ平台
X-Y 行程:12”x 17”
X-Y 分辨率:<0.0004”

X-Y 重复精度:<0.0002”
Z 轴行程:0-0.400”
Z
轴分辨率:0.0005”

Z轴重复精度:0.0005”
θ 角领域:±5°
θ
角分辨率:0.001°

探针压力:5。7Kg

高速Galva振镜光束定位

光束定位分辨率:1。52μm(15μm光斑尺寸),0.80μm(8μm光斑尺寸)

光束定位重复精度:≤12.6μm

光束区域尺寸:100mm x 100mm(15μm光斑尺寸);50mm x 50mm(8μm光斑尺寸),25mm x25mm(8μm光斑尺寸,可选配)

双CCD相机(分辨为高低倍率)视觉系统

设备尺寸(宽x 深x 高):1767.8mm x 812.8mm x 1550.2mm

电源:100/120/230/240VAC±10%,单相50/60Hz

气源:80psi@4scfm(113 l/m) 

LT2210是一种针对薄膜电阻、电阻网络、混杂电路、温度感应装置(RTDs)及其它薄膜小几何尺寸利用进行修协调测试的多功效平台。

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